大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910414436.8

申请日：

2019-05-17

公开(公告)号：

CN110031471A

公开(公告)日：

2019-07-19

发明(设计)人：

陶显张大朋马文治侯伟徐德

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路95号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576

代理人：

郭文浩;尹文会

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20190517
2019-07-19	公开	公开
2020-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15

[2]

大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

邓燕 ;

许乔 ;

柴立群 ;

石琦凯 .

中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22

[3]

大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置 [P].

陈坚 ;

吴周令 ;

黄明 .

中国专利 :CN203069524U ,2013-07-17

[4]

大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法及装置 [P].

杨甬英 ;

高鑫 ;

刘东 .

中国专利 :CN101644657A ,2010-02-10

[5]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586A ,2025-03-18

[6]

一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P].

陈晓义 ;

王璞 ;

眭越 ;

李成尧 ;

达争尚 .

中国专利 :CN119643586B ,2025-06-13

[7]

大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法 [P].

王震 ;

许乔 ;

卫耀伟 ;

王健 ;

李树刚 ;

刘民才 ;

张飞 ;

唐明 ;

吴倩 ;

罗晋 ;

罗振飞 ;

周永勤 ;

程建国 ;

白友民 .

中国专利 :CN111330877A ,2020-06-26

[8]

大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法 [P].

邵建达 ;

刘世杰 ;

倪开灶 ;

黄保铭 ;

潘靖宇 ;

周游 ;

王微微 ;

鲁棋 .

中国专利 :CN109099859A ,2018-12-28

[9]

大口径光学元件表面损伤检测装置和方法 [P].

郭亚晶 ;

朱宝强 ;

唐顺兴 ;

姜秀青 ;

刘亚群 ;

陈欣 .

中国专利 :CN105044131B ,2015-11-11

[10]

大口径光学元件真空抓取系统 [P].

裴国庆 ;

独伟峰 ;

徐旭 ;

袁晓东 ;

叶朗 ;

韩萌萌 ;

熊召 ;

严寒 ;

李珂 .

中国专利 :CN105798939A ,2016-07-27

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