大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法及装置

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专利类型
发明
申请号
CN200910102400.2
申请日
2009-09-03
公开(公告)号
CN101644657A
公开(公告)日
2010-02-10
发明(设计)人
杨甬英 高鑫 刘东
申请人
申请人地址
310027浙江省杭州市浙大路38号
IPC主分类号
G01N2101
IPC分类号
G01N2188
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司
代理人
张法高
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
大口径光学元件表面缺陷的检测分类方法 [P]. 
陈坚 ;
吴周令 ;
黄明 .
中国专利 :CN103105400B ,2013-05-15
[2]
大口径光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P]. 
邓燕 ;
许乔 ;
柴立群 ;
石琦凯 .
中国专利 :CN201589753U ,2010-09-22
[3]
大口径光学元件表面缺陷的检测分类装置 [P]. 
陈坚 ;
吴周令 ;
黄明 .
中国专利 :CN203069524U ,2013-07-17
[4]
大口径光学元件表面缺陷增长分析方法、系统、装置 [P]. 
陶显 ;
张大朋 ;
马文治 ;
侯伟 ;
徐德 .
中国专利 :CN110031471A ,2019-07-19
[5]
一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P]. 
陈晓义 ;
王璞 ;
眭越 ;
李成尧 ;
达争尚 .
中国专利 :CN119643586A ,2025-03-18
[6]
一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法 [P]. 
陈晓义 ;
王璞 ;
眭越 ;
李成尧 ;
达争尚 .
中国专利 :CN119643586B ,2025-06-13
[7]
一种大口径精密光学元件表面洁净处理方法 [P]. 
毛卫平 ;
张晓燕 ;
章付华 ;
毛建宇 .
中国专利 :CN108906830A ,2018-11-30
[8]
大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法 [P]. 
王震 ;
许乔 ;
卫耀伟 ;
王健 ;
李树刚 ;
刘民才 ;
张飞 ;
唐明 ;
吴倩 ;
罗晋 ;
罗振飞 ;
周永勤 ;
程建国 ;
白友民 .
中国专利 :CN111330877A ,2020-06-26
[9]
大口径光学元件表面损伤检测装置和方法 [P]. 
郭亚晶 ;
朱宝强 ;
唐顺兴 ;
姜秀青 ;
刘亚群 ;
陈欣 .
中国专利 :CN105044131B ,2015-11-11
[10]
大口径光学元件的检测方法及系统 [P]. 
孙林 ;
贾松涛 ;
庞晨涛 .
中国专利 :CN117249912B ,2024-02-13