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双镶嵌结构的形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110183349.X
申请日：
2011-07-01
公开(公告)号：
CN102856248A
公开(公告)日：
2013-01-02
发明(设计)人：
李敏
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L21311
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-02 | 公开 | 公开 |
| 2013-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395919246 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201110183349X 申请日:20110701 |
| 2016-10-19 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740244110 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201110183349X 申请公布日:20130102 |