双镶嵌结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610119153.3

申请日：

2006-12-05

公开(公告)号：

CN100576496C

公开(公告)日：

2008-06-11

发明(设计)人：

汪钉崇蓝受龙杨小明

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-06-11	公开	公开
2019-11-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20061205 授权公告日:20091230 终止日期:20181205
2008-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-12-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101241511928 IPC(主分类):H01L 21/768 专利号:ZL2006101191533 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111111
2009-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102856248A ,2013-01-02

[2]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226005A ,2016-01-06

[3]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

宁先捷 .

中国专利 :CN101055421A ,2007-10-17

[4]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

徐载景 ;

张迎春 .

中国专利 :CN101295667A ,2008-10-29

[5]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102569167A ,2012-07-11

[6]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

宁先捷 .

中国专利 :CN100576499C ,2008-11-26

[7]

双镶嵌结构的结构和形成方法 [P].

彭泰彥 ;

谢志宏 .

中国专利 :CN105374772B ,2016-03-02

[8]

双镶嵌结构形成方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 ;

张世谋 .

中国专利 :CN102214601A ,2011-10-12

[9]

双镶嵌结构形成方法 [P].

蔡明 ;

刘明源 .

中国专利 :CN101393887B ,2009-03-25

[10]

双镶嵌结构及其形成方法 [P].

王琪 .

中国专利 :CN102054751A ,2011-05-11

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