双镶嵌结构形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710046316.4

申请日：

2007-09-20

公开(公告)号：

CN101393887B

公开(公告)日：

2009-03-25

发明(设计)人：

蔡明刘明源

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311 H01L213105

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20070920 授权公告日:20100811 终止日期:20180920
2009-03-25	公开	公开
2010-08-11	授权	授权
2009-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

双镶嵌结构形成方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 ;

张世谋 .

中国专利 :CN102214601A ,2011-10-12

[2]

双镶嵌结构形成方法 [P].

王新鹏 ;

沈满华 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101645414B ,2010-02-10

[3]

孔结构形成方法 [P].

刘淼 ;

周立 ;

李虎 ;

李兴龙 .

中国专利 :CN120581433A ,2025-09-02

[4]

孔结构形成方法 [P].

刘淼 ;

周立 ;

李虎 ;

李兴龙 .

中国专利 :CN120581433B ,2025-12-05

[5]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

汪钉崇 ;

蓝受龙 ;

杨小明 .

中国专利 :CN100576496C ,2008-06-11

[6]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102856248A ,2013-01-02

[7]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226005A ,2016-01-06

[8]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

宁先捷 .

中国专利 :CN101055421A ,2007-10-17

[9]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

徐载景 ;

张迎春 .

中国专利 :CN101295667A ,2008-10-29

[10]

双镶嵌结构的形成方法 [P].

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102569167A ,2012-07-11

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