具有金属栅极的半导体元件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110451943.2

申请日：

2011-12-29

公开(公告)号：

CN103187367A

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

傅思逸江文泰陈映璁蔡世鸿林建廷许启茂林进富

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区

IPC主分类号：

H01L218238

IPC分类号：

H01L2128 H01L27092 H01L29423

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陈小雯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-03	公开	公开
2017-06-23	授权	授权
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590932890 IPC(主分类):H01L 21/8238 专利申请号:2011104519432 申请日:20111229

共 50 条

[1]

具有金属栅极的半导体元件的制作方法 [P].

王俞仁 ;

孙德霖 ;

赖思豪 ;

陈柏均 ;

林志勋 ;

蔡哲男 ;

林君玲 ;

叶秋显 .

中国专利 :CN102956460B ,2013-03-06

[2]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

林昭宏 ;

许智凯 ;

冯立伟 ;

蔡世鸿 ;

林建廷 ;

郑志祥 ;

洪庆文 ;

吴家荣 ;

李怡慧 ;

刘盈成 ;

吴奕宽 ;

黄志森 ;

陈意维 .

中国专利 :CN106409830A ,2017-02-15

[3]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

黄光耀 ;

杨玉如 ;

廖俊雄 ;

周珮玉 .

中国专利 :CN102237399B ,2011-11-09

[4]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

廖柏瑞 ;

蔡宗龙 ;

林建廷 ;

徐韶华 ;

王彦鹏 ;

林俊贤 ;

杨建伦 ;

黄光耀 ;

陈信琦 ;

施宏霖 ;

廖俊雄 ;

梁佳文 .

中国专利 :CN102856255B ,2013-01-02

[5]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

吕佳霖 ;

陈俊隆 ;

廖琨垣 ;

张峰溢 .

中国专利 :CN105470200A ,2016-04-06

[6]

具有金属栅极的半导体元件的制作方法 [P].

廖柏瑞 ;

蔡宗龙 ;

林建廷 ;

徐韶华 ;

吕水烟 ;

周珮玉 ;

陈信琦 ;

廖俊雄 ;

蔡尚元 ;

杨建伦 ;

蔡腾群 ;

林俊贤 .

中国专利 :CN102683282A ,2012-09-19

[7]

具有金属栅极的半导体元件的制作方法 [P].

廖柏瑞 ;

蔡宗龙 ;

林建廷 ;

徐韶华 ;

陈意维 ;

黄信富 ;

李宗颖 ;

蔡旻錞 ;

杨建伦 ;

吴俊元 ;

蔡腾群 ;

黄光耀 ;

许嘉麟 ;

杨杰甯 ;

陈正国 ;

曾荣宗 ;

李志成 ;

施宏霖 ;

黄柏诚 ;

陈奕文 ;

许哲华 .

中国专利 :CN102738083A ,2012-10-17

[8]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

谢雅雪 ;

蔡腾群 ;

陈佳禧 ;

张振辉 ;

黄柏诚 ;

许信国 .

中国专利 :CN102468238A ,2012-05-23

[9]

具有金属栅极的半导体元件及其制作方法 [P].

徐俊伟 ;

黄柏诚 ;

蔡腾群 ;

许嘉麟 ;

林志勋 ;

陈彦铭 ;

陈佳禧 ;

龚昌鸿 .

中国专利 :CN102891085A ,2013-01-23

[10]

具有金属栅极的半导体元件与其制造方法 [P].

黄光耀 ;

林俊贤 ;

施宏霖 ;

廖俊雄 ;

李志成 ;

徐韶华 ;

陈奕文 ;

陈正国 ;

曾荣宗 ;

林建廷 ;

黄同雋 ;

杨杰甯 ;

蔡宗龙 ;

廖柏瑞 ;

赖建铭 ;

陈映璁 ;

马诚佑 ;

洪文瀚 ;

许哲华 .

中国专利 :CN102737971A ,2012-10-17

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