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用于真空镀膜设备的真空阀
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320287251.3
申请日：
2013-05-23
公开(公告)号：
CN203307431U
公开(公告)日：
2013-11-27
发明(设计)人：
王燕
侯荣华
申请人：
申请人地址：
102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
北京凯特来知识产权代理有限公司 11260
代理人：
郑立明;赵镇勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-11-27 | 授权 | 授权 |
| 2015-12-23 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101725527661 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL2013202872513 登记生效日:20151202 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京北仪创新真空技术有限责任公司 变更后权利人:北京北仪优成真空技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地 变更后权利人:102600 北京市大兴区大兴工业区盛坊路京仪仪表基地 |