用于真空镀膜设备的传输系统及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421943387.X

申请日：

2024-08-12

公开(公告)号：

CN223087902U

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

齐鹏飞梅芳王大鹏王莱陶奎任

申请人：

西尔克斯科技有限公司

申请人地址：

英属维尔京群岛，托多拉市，路德镇，域咸区II，瑞致达企业服务中心

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/54 C23C14/50 H10F71/00

代理机构：

北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678

代理人：

刘新桐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜室及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN222160347U ,2024-12-13

[2]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

杨海成 .

中国专利 :CN216614834U ,2022-05-27

[3]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[5]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

[6]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[7]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[8]

镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

刘玮 ;

朱昆 ;

曹健辉 ;

陈惠君 ;

颜学庆 ;

刘晓兰 .

中国专利 :CN114293168A ,2022-04-08

[9]

真空镀膜腔室及真空镀膜设备 [P].

徐悦 .

中国专利 :CN209039569U ,2019-06-28

[10]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

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