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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-06-11 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701638987 IPC(主分类):C30B 35/00 专利申请号:201010161413X 申请公布日:20100908 |
| 2010-10-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101010883202 IPC(主分类):C30B 35/00 专利申请号:201010161413X 申请日:20100429 |
| 2013-02-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101523392800 IPC(主分类):C30B 35/00 专利申请号:201010161413X 变更事项:申请人 变更前权利人:杭州富通半导体设备科技有限公司 变更后权利人:富通集团有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:311400 浙江省富阳市金秋大道富通科技园1-8号 变更后权利人:311400 浙江省富阳市金秋大道富通科技园1-8号 登记生效日:20130124 |
| 2010-09-08 | 公开 | 公开 |