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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-02-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101524198479 IPC(主分类):C30B 15/00 专利号:ZL2010201775599 变更事项:专利权人 变更前权利人:杭州富通半导体设备科技有限公司 变更后权利人:富通集团有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:311400 浙江省富阳市金秋大道富通科技园1-8号 变更后权利人:311400 浙江省富阳市金秋大道富通科技园1-8号 登记生效日:20130128 |
| 2011-01-05 | 授权 | 授权 |
| 2020-05-22 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20100429 授权公告日:20110105 |