共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆片中转装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021610933.X
申请日：
2020-08-06
公开(公告)号：
CN212517141U
公开(公告)日：
2021-02-09
发明(设计)人：
辛文凡
王威
安海岩
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京众达德权知识产权代理有限公司 11570
代理人：
安磊
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-09 | 授权 | 授权 |