单片集成钛薄膜热电阻可调谐DFB激光器的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310019746.2
申请日
2013-01-18
公开(公告)号
CN103094832B
公开(公告)日
2013-05-08
发明(设计)人
张灿 梁松 朱洪亮
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
H01S5026
IPC分类号
H01S512
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
宋焰琴
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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