一种溅射镀膜机的辅助冷却系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921428056.1
申请日
2019-08-29
公开(公告)号
CN210620927U
公开(公告)日
2020-05-26
发明(设计)人
唐志强 姜钧
申请人
申请人地址
067000 河北省承德市平泉市平泉镇四合园村17组
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C23C1454
代理机构
北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙) 11303
代理人
朱丽华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
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