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石墨舟上料装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120807089.8
申请日
:
2021-04-19
公开(公告)号
:
CN214898366U
公开(公告)日
:
2021-11-26
发明(设计)人
:
沈晓
申请人
:
申请人地址
:
213100 江苏省常州市武进高新技术产业开发区龙门路1号
IPC主分类号
:
H01L21677
IPC分类号
:
代理机构
:
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258
代理人
:
张云
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-26
授权
授权
共 50 条
[1]
石墨舟放片装置
[P].
王世友
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王世友
;
吴卫伟
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吴卫伟
.
中国专利
:CN206532761U
,2017-09-29
[2]
回字型石墨舟页及石墨舟
[P].
金晨淦
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金晨淦
;
金刚刚
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金刚刚
;
李永伟
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李永伟
;
董军委
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董军委
;
王春来
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王春来
.
中国专利
:CN217922310U
,2022-11-29
[3]
槽式石墨舟垫腿及石墨舟
[P].
侯新倾
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侯新倾
;
乔拓
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乔拓
.
中国专利
:CN204792729U
,2015-11-18
[4]
石墨舟酸洗槽
[P].
王骏明
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王骏明
;
杨伟
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杨伟
;
胡政春
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胡政春
;
黄飞
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黄飞
.
中国专利
:CN210966113U
,2020-07-10
[5]
石墨舟清洗载具
[P].
王骏明
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王骏明
;
杨伟
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杨伟
;
胡政春
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胡政春
;
黄飞
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黄飞
.
中国专利
:CN210966276U
,2020-07-10
[6]
一种石墨舟
[P].
陈炎
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陈炎
;
夏丹丹
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夏丹丹
;
胡玉婷
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胡玉婷
.
中国专利
:CN216445461U
,2022-05-06
[7]
石墨舟机械臂吊臂
[P].
王骏明
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王骏明
;
杨伟
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杨伟
;
胡政春
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胡政春
;
黄飞
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黄飞
.
中国专利
:CN210286429U
,2020-04-10
[8]
可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备
[P].
邓金生
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邓金生
;
周宏业
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周宏业
;
黎佐兴
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黎佐兴
;
李时俊
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李时俊
.
中国专利
:CN210884895U
,2020-06-30
[9]
管式PECVD石墨舟工艺点上料装置
[P].
邹海军
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邹海军
;
吴佳俊
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吴佳俊
;
吴俊
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吴俊
;
王少华
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王少华
.
中国专利
:CN205790036U
,2016-12-07
[10]
石墨舟片及石墨舟
[P].
李苗苗
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李苗苗
;
何军
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何军
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中国专利
:CN206477027U
,2017-09-08
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