石墨舟上料装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202120807089.8
申请日
2021-04-19
公开(公告)号
CN214898366U
公开(公告)日
2021-11-26
发明(设计)人
沈晓
申请人
申请人地址
213100 江苏省常州市武进高新技术产业开发区龙门路1号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
代理机构
常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258
代理人
张云
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
石墨舟放片装置 [P]. 
王世友 ;
吴卫伟 .
中国专利 :CN206532761U ,2017-09-29
[2]
回字型石墨舟页及石墨舟 [P]. 
金晨淦 ;
金刚刚 ;
李永伟 ;
董军委 ;
王春来 .
中国专利 :CN217922310U ,2022-11-29
[3]
槽式石墨舟垫腿及石墨舟 [P]. 
侯新倾 ;
乔拓 .
中国专利 :CN204792729U ,2015-11-18
[4]
石墨舟酸洗槽 [P]. 
王骏明 ;
杨伟 ;
胡政春 ;
黄飞 .
中国专利 :CN210966113U ,2020-07-10
[5]
石墨舟清洗载具 [P]. 
王骏明 ;
杨伟 ;
胡政春 ;
黄飞 .
中国专利 :CN210966276U ,2020-07-10
[6]
一种石墨舟 [P]. 
陈炎 ;
夏丹丹 ;
胡玉婷 .
中国专利 :CN216445461U ,2022-05-06
[7]
石墨舟机械臂吊臂 [P]. 
王骏明 ;
杨伟 ;
胡政春 ;
黄飞 .
中国专利 :CN210286429U ,2020-04-10
[8]
可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P]. 
邓金生 ;
周宏业 ;
黎佐兴 ;
李时俊 .
中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30
[9]
管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P]. 
邹海军 ;
吴佳俊 ;
吴俊 ;
王少华 .
中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07
[10]
石墨舟片及石墨舟 [P]. 
李苗苗 ;
何军 .
中国专利 :CN206477027U ,2017-09-08