晶圆键合装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121967795.5

申请日：

2021-08-20

公开(公告)号：

CN215771070U

公开(公告)日：

2022-02-08

发明(设计)人：

邹晓辉

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L21603

IPC分类号：

H01L2167 H01L21687

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

田婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆键合装置 [P].

樊树宝 ;

张昊 ;

王莎 .

中国专利 :CN218333691U ,2023-01-17

[2]

晶圆键合装置 [P].

欧欣 ;

李忠旭 ;

赵晓蒙 ;

陈阳 ;

黄凯 .

中国专利 :CN211654773U ,2020-10-09

[3]

晶圆键合装置及晶圆键合设备 [P].

赵志远 ;

刘武 ;

刘淼 ;

冯皓 .

中国专利 :CN215644391U ,2022-01-25

[4]

晶圆键合方法及键合晶圆 [P].

王超 ;

刘婧 ;

黄驰 .

中国专利 :CN112614807A ,2021-04-06

[5]

晶圆键合方法以及键合晶圆 [P].

闵源 ;

王淞山 ;

许力恒 ;

赵强 .

中国专利 :CN109545672A ,2019-03-29

[6]

晶圆键合方法及键合晶圆 [P].

王超 ;

刘婧 ;

黄驰 .

中国专利 :CN112614807B ,2024-04-02

[7]

晶圆键合设备 [P].

赵志远 ;

袁绅豪 ;

刘武 ;

刘淼 ;

锁志勇 .

中国专利 :CN216054588U ,2022-03-15

[8]

晶圆键合装置 [P].

邢程 ;

章亚荣 ;

马宏普 .

中国专利 :CN216054599U ,2022-03-15

[9]

用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置 [P].

司伟 ;

白龙 .

中国专利 :CN212659518U ,2021-03-05

[10]

晶圆键合装置 [P].

赵志远 .

中国专利 :CN216213265U ,2022-04-05

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