基板的处理装置及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510451334.5

申请日：

2012-12-26

公开(公告)号：

CN105070673A

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

林航之介松井绘美大田垣崇桧森洋辅

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L213105 H01L21321

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

戚宏梅;杨谦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637757360 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015104513345 申请日:20121226
2020-02-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20151118
2015-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

基板的处理装置及处理方法 [P].

林航之介 ;

松井绘美 ;

大田垣崇 ;

桧森洋辅 .

中国专利 :CN103187341A ,2013-07-03

[2]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

齐藤裕树 ;

林航之介 ;

大田垣崇 ;

长岛裕次 .

中国专利 :CN107256823B ,2017-10-17

[3]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

小林信雄 ;

樋口晃一 ;

黑川祯明 ;

荒井隆史 .

中国专利 :CN101009206B ,2007-08-01

[4]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

沼仓雅博 .

中国专利 :CN1321448C ,2005-08-10

[5]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

郑贤默 ;

姜瑨 .

韩国专利 :CN119318011A ,2025-01-14

[6]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

荒木知康 .

中国专利 :CN108630567B ,2018-10-09

[7]

基板处理方法、基板处理系统及基板处理程序 [P].

贝濑精一 ;

岩渕纪之 ;

加藤茂昭 ;

中村博 ;

横内健 ;

柴田真理子 ;

小尾章 .

中国专利 :CN1779906A ,2006-05-31

[8]

基板处理方法和基板处理装置 [P].

久保明广 ;

小玉辉彦 .

中国专利 :CN106933061B ,2017-07-07

[9]

工艺分离型基板处理装置及处理方法 [P].

赵允仙 ;

金瀚沃 .

中国专利 :CN105374714B ,2016-03-02

[10]

基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 [P].

关户幸一 ;

前川浩治 ;

鹰野国夫 .

中国专利 :CN101689528A ,2010-03-31

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