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一种抗磨损耐腐蚀的DLC/SiNx复合薄膜及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910249636.2
申请日：
2019-03-29
公开(公告)号：
CN109898051A
公开(公告)日：
2019-06-18
发明(设计)人：
魏秋平
马莉
周科朝
余志明
申请人：
申请人地址：
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
IPC主分类号：
C23C1406
IPC分类号：
C23C1435
C23C1402
代理机构：
长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114
代理人：
颜勇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-04 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/06 登记生效日:20210617 变更事项:专利权人 变更前权利人:深圳市富吉真空技术有限公司 变更后权利人:湖南新锋科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙一社区新沙路鑫鑫田工业区7栋厂房五层 变更后权利人:410000 湖南省长沙市岳麓区金星中路528号银谷苑8栋1233 |
| 2019-07-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20190329 |
| 2019-06-18 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/06 登记生效日:20210319 变更事项:专利权人 变更前权利人:中南大学 变更后权利人:深圳市富吉真空技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙一社区新沙路鑫鑫田工业区7栋厂房五层 |