一种DLC/Me-C复合薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910249651.7

申请日：

2019-03-29

公开(公告)号：

CN109898064A

公开(公告)日：

2019-06-18

发明(设计)人：

魏秋平马莉周科朝余志明

申请人：

申请人地址：

410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1402 C23C1406 C23C1448

代理机构：

长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114

代理人：

颜勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-18	公开	公开
2020-02-04	授权	授权
2021-04-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20210331 变更事项:专利权人变更前权利人:中南大学变更后权利人:深圳市富吉真空技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙一社区新沙路鑫鑫田工业区7栋厂房五层
2021-06-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20210531 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市富吉真空技术有限公司变更后权利人:湖南新锋科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙一社区新沙路鑫鑫田工业区7栋厂房五层变更后权利人:410000 湖南省长沙市岳麓区金星中路528号银谷苑8栋1233
2019-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190329

共 50 条

[1]

一种金属/DLC复合薄膜及其制备方法 [P].

朱剑熹 ;

韩斐 ;

朱勇 ;

胡懿郃 ;

罗浩 ;

肖瑶 ;

刘宇奇 ;

贺泰来 .

中国专利 :CN112501570B ,2021-03-16

[2]

一种抗磨损耐腐蚀的DLC/SiNx复合薄膜及其制备方法 [P].

魏秋平 ;

马莉 ;

周科朝 ;

余志明 .

中国专利 :CN109898051A ,2019-06-18

[3]

一种TiAlSiN-DLC复合薄膜及其制备方法 [P].

王彦峰 ;

李争显 ;

王宝云 ;

杜继红 ;

华云峰 ;

姬寿长 .

中国专利 :CN102517543A ,2012-06-27

[4]

一种DLC薄膜增硬玻璃及其制备方法 [P].

赵青南 ;

刘翔 ;

张泽华 ;

李渊 ;

赵修建 .

中国专利 :CN108191258B ,2018-06-22

[5]

一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法 [P].

邓杨 ;

王立会 ;

夏凯 ;

向小健 ;

翟乾胜 .

中国专利 :CN113443838A ,2021-09-28

[6]

一种具有封孔顶层的耐蚀DLC薄膜及其制备方法 [P].

张广安 ;

尹萍妹 ;

尚伦霖 ;

李霞 .

中国专利 :CN113667976A ,2021-11-19

[7]

一种磁控溅射低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李刚 ;

吕起鹏 ;

王锋 ;

公发全 ;

邓淞文 ;

孙龙 ;

金玉奇 .

中国专利 :CN105714256A ,2016-06-29

[8]

一种柔性DLC薄膜的制备方法 [P].

黄平尧 .

中国专利 :CN120366726A ,2025-07-25

[9]

一种双金属掺杂DLC抗菌薄膜及其制备方法 [P].

肖瑶 ;

李嘉荣 ;

谭玉勇 ;

赵杰 ;

龚连生 .

中国专利 :CN112663011B ,2021-04-16

[10]

一种复合薄膜及其制备方法 [P].

闫博 .

中国专利 :CN107286430A ,2017-10-24

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