一种柔性DLC薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410096104.0

申请日：

2024-01-23

公开(公告)号：

CN120366726A

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

黄平尧

申请人：

东莞新科技术研究开发有限公司

申请人地址：

523087 广东省东莞市南城区宏远工业区

IPC主分类号：

C23C16/26

IPC分类号：

C23C14/10 C23C14/22 C23C14/58

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

麦小婵

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

金克武 .

中国专利 :CN106756846A ,2017-05-31

[2]

一种在基材表面制备DLC薄膜的方法 [P].

李慕勤 ;

孙薇薇 ;

吴明忠 ;

马臣 ;

吴俊杰 ;

张德秋 .

中国专利 :CN104278246A ,2015-01-14

[3]

一种磁控溅射低温制备DLC薄膜的方法 [P].

李刚 ;

吕起鹏 ;

王锋 ;

公发全 ;

邓淞文 ;

孙龙 ;

金玉奇 .

中国专利 :CN105714256A ,2016-06-29

[4]

一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法 [P].

邓杨 ;

王立会 ;

夏凯 ;

向小健 ;

翟乾胜 .

中国专利 :CN113443838A ,2021-09-28

[5]

一种金属/DLC复合薄膜及其制备方法 [P].

朱剑熹 ;

韩斐 ;

朱勇 ;

胡懿郃 ;

罗浩 ;

肖瑶 ;

刘宇奇 ;

贺泰来 .

中国专利 :CN112501570B ,2021-03-16

[6]

一种制备DLC薄膜的方法、由此制造的DLC膜容器及生产装置 [P].

(请求不公开姓名) .

中国专利 :CN101497994A ,2009-08-05

[7]

一种DLC薄膜增硬玻璃及其制备方法 [P].

赵青南 ;

刘翔 ;

张泽华 ;

李渊 ;

赵修建 .

中国专利 :CN108191258B ,2018-06-22

[8]

Ag、Ti共掺杂DLC薄膜的制备方法 [P].

周飞 ;

王谦之 ;

付俊兴 .

中国专利 :CN102817008B ,2012-12-12

[9]

一种离子源辅助沉积制备DLC薄膜的方法 [P].

王立利 ;

李品质 ;

杨晓龙 ;

欧洪波 .

中国专利 :CN120575122A ,2025-09-02

[10]

一种双金属掺杂DLC抗菌薄膜及其制备方法 [P].

肖瑶 ;

李嘉荣 ;

谭玉勇 ;

赵杰 ;

龚连生 .

中国专利 :CN112663011B ,2021-04-16

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