抛光垫的修整器以及抛光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810058853.9

申请日：

2018-01-22

公开(公告)号：

CN108214306A

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

沈新林郭松辉林宗贤吴龙江吕新强

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;吴敏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 53/017 申请公布日:20180629
2018-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20180122
2018-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

抛光垫修整器、抛光垫修整装置及抛光系统 [P].

姚力军 ;

大岩一彦 ;

相原俊夫 ;

潘杰 ;

王学泽 .

中国专利 :CN104209864A ,2014-12-17

[2]

抛光垫修整器及其制造方法、抛光垫修整装置及抛光系统 [P].

姚力军 ;

大岩一彦 ;

相原俊夫 ;

潘杰 ;

王学泽 .

中国专利 :CN104209863A ,2014-12-17

[3]

抛光垫、抛光系统以及制造该抛光垫的方法 [P].

波格丹·斯韦德克 ;

大卫·J·利斯卡 ;

杰弗里·德鲁·大卫 ;

多米尼克·J·本维努 .

中国专利 :CN100548581C ,2007-04-04

[4]

抛光系统的抛光垫 [P].

闵庚勳 ;

林云勳 ;

李大渊 ;

宋在翊 ;

朴寿讃 .

中国专利 :CN103079767A ,2013-05-01

[5]

抛光垫及抛光系统 [P].

罗乙杰 ;

黄振伟 ;

段冲 ;

高越 .

中国专利 :CN117733728A ,2024-03-22

[6]

抛光修整装置及抛光系统 [P].

胡兴臣 ;

熊朋 ;

刘永进 ;

白浩然 .

中国专利 :CN107953242A ,2018-04-24

[7]

抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN202479968U ,2012-10-10

[8]

抛光系统、抛光垫以及半导体器件的制造方法 [P].

安宰仁 ;

金京焕 ;

马圣欢 ;

徐章源 .

中国专利 :CN115401601A ,2022-11-29

[9]

抛光系统、抛光垫以及半导体器件的制造方法 [P].

安宰仁 ;

金京焕 ;

明康植 ;

徐章源 .

韩国专利 :CN115401601B ,2024-05-14

[10]

抛光垫修整器 [P].

岸本正俊 ;

铃木毅裕 .

日本专利 :CN308446209S ,2024-01-30

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