一种立式的PECVD复合PVD的真空镀膜系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811209769.9

申请日：

2018-10-17

公开(公告)号：

CN109055911A

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

李宏霞张克伟林朝宗谢倩

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路569号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456 C23C1654 C23C16513 C23C2800

代理机构：

苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301

代理人：

周斌;陆彩霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-21	公开	公开
2019-08-20	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:申请人变更前:苏州善柔电气自动化科技有限公司变更后:苏州善柔真空科技有限公司变更事项:地址变更前:215300 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路569号变更后:215300 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路569号
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20181017

共 50 条

[1]

一种立式的PECVD复合PVD的真空镀膜系统 [P].

李宏霞 ;

张克伟 ;

林朝宗 ;

谢倩 .

中国专利 :CN209412302U ,2019-09-20

[2]

立式真空镀膜系统 [P].

张迅 ;

阳威 ;

欧阳小园 ;

易伟华 .

中国专利 :CN203890435U ,2014-10-22

[3]

一种用于PVD真空镀膜的真空镀膜炉 [P].

吴晓明 .

中国专利 :CN211036071U ,2020-07-17

[4]

一种PVD镀膜真空系统 [P].

潘宏胜 ;

梅艳慧 ;

江湖 ;

鲁启昌 ;

叶显飞 .

中国专利 :CN222434606U ,2025-02-07

[5]

一种用于制备金属-高分子多层复合薄膜的真空镀膜系统 [P].

张锡强 ;

李欢乐 ;

王茜 ;

李珪 ;

赵羽晴 ;

余赐贤 .

中国专利 :CN109763107A ,2019-05-17

[6]

一种真空镀膜系统 [P].

陈学兵 .

中国专利 :CN105803418A ,2016-07-27

[7]

一种真空镀膜系统 [P].

陈学兵 ;

王光辉 .

中国专利 :CN105112881A ,2015-12-02

[8]

一种简易的PVD真空镀膜装置 [P].

罗源 ;

任粒 ;

张纯 ;

刘伟 ;

伍玉娇 .

中国专利 :CN206843576U ,2018-01-05

[9]

一种PVD涂层的真空镀膜装置 [P].

熊西剑 .

中国专利 :CN221720912U ,2024-09-17

[10]

一种简易的PVD真空镀膜装置 [P].

黄正勇 ;

周文忠 ;

黄国辉 ;

黄建朝 ;

吴迪 .

中国专利 :CN208008879U ,2018-10-26

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