一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法

被引：0

申请号：

CN202211473482.3

申请日：

2022-11-23

公开(公告)号：

CN115535959A

公开(公告)日：

2022-12-30

发明(设计)人：

姚鹏王庆伟徐相悦王鹏飞刘莉褚东凯屈硕硕刘含莲邹斌黄传真

申请人：

申请人地址：

250061 山东省济南市历下区经十路17923号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B23K26362

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司 37221

代理人：

陈晓敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	公开	公开
2023-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20221123

共 50 条

[1]

飞秒激光湿法刻蚀在氮化镓表面加工微结构阵列的方法 [P].

欧艳 ;

李圣 ;

钱锦文 ;

肖逸锋 ;

付斯倚 ;

吴靓 ;

张明华 .

中国专利 :CN110508932B ,2019-11-29

[2]

一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法 [P].

陈涛 ;

司金海 ;

马云灿 ;

潘安 ;

陈烽 ;

侯洵 .

中国专利 :CN103232023A ,2013-08-07

[3]

利用飞秒激光湿法刻蚀制备准周期微透镜阵列的方法 [P].

陈烽 ;

边浩 ;

胡洋 ;

杨青 ;

杜广庆 .

中国专利 :CN103018799B ,2013-04-03

[4]

一种飞秒激光微结构加工夹持机构 [P].

吴梦实 ;

谢柳强 .

中国专利 :CN223313230U ,2025-09-09

[5]

单晶硅中阶梯光栅的湿法刻蚀方法 [P].

焦庆斌 ;

谭鑫 ;

巴音贺希格 ;

齐向东 .

中国专利 :CN102981198A ,2013-03-20

[6]

一种NiCoCrAlY粘结层微结构飞秒激光加工方法 [P].

蒋睿嵩 ;

胡越 ;

王劭剑 ;

陈朝浪 .

中国专利 :CN118875498A ,2024-11-01

[7]

一种紫外飞秒激光高效加工硫化锌表面微结构阵列的方法 [P].

胡政 ;

冯杰才 ;

王星 ;

李诚 ;

周进 ;

郄程鹏 ;

王永国 .

中国专利 :CN118305448A ,2024-07-09

[8]

一种低误差复杂微结构光栅的飞秒激光加工方法 [P].

吴端端 ;

钱见超 ;

詹万通 ;

白胜闯 ;

张培晴 .

中国专利 :CN120460914A ,2025-08-12

[9]

一种热辅助的飞秒激光加工方法 [P].

张帆 ;

赵于前 ;

段吉安 .

中国专利 :CN110732789A ,2020-01-31

[10]

一种飞秒激光加工微腔阵列的方法 [P].

曹强 ;

邹俊杰 .

中国专利 :CN119187848A ,2024-12-27

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