用于气相自由基的控制的多区气体注入

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980034497.X

申请日：

2019-05-23

公开(公告)号：

CN112204167A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

迪普·安东尼

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16448 C23C1640 C23C1652

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

蔡胜有;苏虹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	公开	公开
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20190523

共 50 条

[1]

用于自由基增强薄膜沉积的氧自由基产生 [P].

E.R.迪基 ;

W.A.巴罗 .

中国专利 :CN102753726B ,2012-10-24

[2]

一种用于气相碳自由基和过氧自由基同时富集的微流控芯片 [P].

汪夏燕 ;

李静 ;

窦相南 ;

郭广生 .

中国专利 :CN119909778A ,2025-05-02

[3]

受控自由基聚合的方法以及用于受控自由基聚合的装置 [P].

崔广辉 ;

妮露法·希瑞里·扎德 ;

罗宾·哈钦森 ;

李德恒 ;

郭峻峰 .

中国专利 :CN112011002A ,2020-12-01

[4]

检测自由基的方法 [P].

周西斌 ;

史权 ;

梅晰凡 ;

贾云宏 ;

张杰 .

中国专利 :CN108299273A ,2018-07-20

[5]

捕获卷烟主流烟气气相自由基的装置 [P].

张华 ;

柯炜昌 ;

王娟 ;

郭国宁 ;

岳海波 .

中国专利 :CN201314878Y ,2009-09-23

[6]

增强的氢氧自由基的生成 [P].

阿舒托什·乔希 ;

尤里·科洛尼 ;

伊塔·克赖泽尔 ;

约尔·萨松 .

中国专利 :CN100351215C ,2006-02-08

[7]

对受控自由基聚合工艺的改进控制 [P].

沃伊切赫·雅库博夫斯基 ;

詹姆斯·斯潘丝维克 .

中国专利 :CN107245119A ,2017-10-13

[8]

用于受控自由基聚合的装置和方法 [P].

D·M·格拉瑟 ;

R·科菲 ;

A·F·雅克比尼 ;

J·G·伍兹 .

中国专利 :CN102099382B ,2011-06-15

[9]

一种气相自由基CnH与气态烃分子反应的实验装置 [P].

霍瑞萍 .

中国专利 :CN209564974U ,2019-11-01

[10]

可自由基固化的组合物 [P].

J·F·G·A·詹森 ;

E-J·范登比格拉尔 .

:CN118176225A ,2024-06-11

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