用于自由基增强薄膜沉积的氧自由基产生

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080059857.0

申请日：

2010-12-29

公开(公告)号：

CN102753726B

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

E.R.迪基 W.A.巴罗

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1650 C23C16511 C23C1630 H01L21205

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

艾尼瓦尔;李炳爱

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-29	授权	授权
2012-10-24	公开	公开
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101364517683 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2010800598570 申请日:20101229

共 50 条

[1]

使用CF4来增强氧自由基产生的自由基增强的原子层沉积 [P].

A·W·扎菲罗波洛 ;

M·J·索瓦 .

中国专利 :CN105386010A ,2016-03-09

[2]

氧自由基产生装置及氧自由基产生方法 [P].

葛本昌树 ;

盐田有波 ;

内藤皓贵 .

日本专利 :CN115427348B ,2024-03-01

[3]

氧自由基产生装置及氧自由基产生方法 [P].

葛本昌树 ;

盐田有波 ;

内藤皓贵 .

中国专利 :CN115427348A ,2022-12-02

[4]

酸以及自由基产生剂和酸以及自由基的产生方法 [P].

酒井信彦 ;

簗场康佑 .

中国专利 :CN105764885A ,2016-07-13

[5]

靶向氧氮自由基药剂 [P].

P·温普弗 ;

M·C·弗兰特兹 .

中国专利 :CN102159553B ,2011-08-17

[6]

自由基溶液的生产装置、自由基溶液的生产方法和自由基溶液 [P].

福井健二 ;

神谷宏明 .

中国专利 :CN1537080A ,2004-10-13

[7]

高压自由基聚合 [P].

C·R·埃迪 ;

J·S·布兰得利 ;

O·J·波比 ;

S·芒贾尔 ;

B·古特穆思 .

中国专利 :CN107873035B ,2018-04-03

[8]

自由基电离器 [P].

魏雄辉 .

中国专利 :CN105984850B ,2016-10-05

[9]

自由基聚合方法 [P].

迈克尔·Ｋ·乔治 ;

里查德·Ｐ·Ｎ·维雷金 ;

彼特·Ｍ·卡茨迈尔 ;

戈登·Ｋ·哈默 .

中国专利 :CN1046538C ,1994-06-01

[10]

自由基灭菌装置 [P].

林信哉 ;

佐藤三郎 .

中国专利 :CN101227929B ,2008-07-23

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