使用CF4来增强氧自由基产生的自由基增强的原子层沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510534891.3

申请日：

2015-08-27

公开(公告)号：

CN105386010A

公开(公告)日：

2016-03-09

发明(设计)人：

A·W·扎菲罗波洛 M·J·索瓦

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1640

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

李英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-09	公开	公开
2018-03-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/455 申请公布日:20160309

共 50 条

[1]

用于自由基增强薄膜沉积的氧自由基产生 [P].

E.R.迪基 ;

W.A.巴罗 .

中国专利 :CN102753726B ,2012-10-24

[2]

采用臭氧等离子体的氧自由基增强的原子层沉积 [P].

A·W·泽弗洛普洛 .

中国专利 :CN105177527A ,2015-12-23

[3]

氧自由基产生装置及氧自由基产生方法 [P].

葛本昌树 ;

盐田有波 ;

内藤皓贵 .

日本专利 :CN115427348B ,2024-03-01

[4]

氧自由基产生装置及氧自由基产生方法 [P].

葛本昌树 ;

盐田有波 ;

内藤皓贵 .

中国专利 :CN115427348A ,2022-12-02

[5]

增强的氢氧自由基的生成 [P].

阿舒托什·乔希 ;

尤里·科洛尼 ;

伊塔·克赖泽尔 ;

约尔·萨松 .

中国专利 :CN100351215C ,2006-02-08

[6]

检测自由基的方法 [P].

周西斌 ;

史权 ;

梅晰凡 ;

贾云宏 ;

张杰 .

中国专利 :CN108299273A ,2018-07-20

[7]

制备稳定的硝基氧自由基的方法 [P].

M·卡尔达拉罗 ;

R·波 ;

M·里茨 .

中国专利 :CN101023059B ,2007-08-22

[8]

使用质谱法检测自由基的方法 [P].

N·穆勒 .

美国专利 :CN117813496A ,2024-04-02

[9]

受控自由基聚合的方法以及用于受控自由基聚合的装置 [P].

崔广辉 ;

妮露法·希瑞里·扎德 ;

罗宾·哈钦森 ;

李德恒 ;

郭峻峰 .

中国专利 :CN112011002A ,2020-12-01

[10]

用于在自由基增强原子层沉积期间抑制前体相互作用的方法和系统 [P].

E·迪基 .

美国专利 :CN121127624A ,2025-12-12

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