共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2008-02-20 | 授权 | 授权 |
| 2004-06-30 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 8/48 申请日:20030904 授权公告日:20080220 终止日期:20200904 |
| 2005-06-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |