一种纳米金刚石薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110217641.9

申请日：

2011-07-29

公开(公告)号：

CN102251231A

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

钟建华张文英

申请人：

申请人地址：

510663 广东省广州市科学城揽月路80号科技创新基地E区204-206

IPC主分类号：

C23C1656

IPC分类号：

C23C1630 C23C1646

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

杨晓松

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-23	公开	公开
2013-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101628023517 IPC(主分类):C23C 16/56 专利申请号:2011102176419 申请公布日:20111123
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165564819 IPC(主分类):C23C 16/56 专利申请号:2011102176419 申请日:20110729

共 50 条

[1]

一种纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杨彬 ;

雷乐成 ;

李浩 .

中国专利 :CN105755448A ,2016-07-13

[2]

纳米金刚石薄膜窗口的制备方法 [P].

胡广 ;

祝雪丰 ;

王林军 ;

黄健 ;

徐金勇 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101235485A ,2008-08-06

[3]

纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

龚辉 ;

范正修 .

中国专利 :CN1332268A ,2002-01-23

[4]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[5]

掺氮纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

王兵 .

中国专利 :CN102399092B ,2012-04-04

[6]

一种硅基纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

朱宁 ;

张聪聪 ;

戴伟 ;

曲长庆 ;

吴小国 ;

尹振超 .

中国专利 :CN102605345A ,2012-07-25

[7]

一种制备超纳米金刚石薄膜的方法 [P].

曾一 .

中国专利 :CN112281136A ,2021-01-29

[8]

一种密堆积纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

胡晓君 ;

郑玉浩 ;

唐彬杰 ;

陈成克 ;

李晓 ;

蒋梅燕 ;

鲁少华 .

中国专利 :CN115852331B ,2024-11-01

[9]

一种纳米金刚石薄膜的生长方法 [P].

甘志银 ;

汪启军 ;

甘志文 .

中国专利 :CN119956481A ,2025-05-09

[10]

一种n型纳米金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡晓君 .

中国专利 :CN101717913B ,2010-06-02

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