纳米金刚石薄膜的制备装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01126358.X

申请日：

2001-07-27

公开(公告)号：

CN1332268A

公开(公告)日：

2002-01-23

发明(设计)人：

龚辉范正修

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

上海华东专利事务所

代理人：

李兰英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2001-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-07-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2002-01-23	公开	公开

共 50 条

[1]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[2]

纳米金刚石薄膜窗口的制备方法 [P].

胡广 ;

祝雪丰 ;

王林军 ;

黄健 ;

徐金勇 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101235485A ,2008-08-06

[3]

一种超纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

吕家将 ;

吴炳理 ;

彭凡林 ;

蒋晓刚 ;

王文超 .

中国专利 :CN210736872U ,2020-06-12

[4]

掺氮纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

王兵 .

中国专利 :CN102399092B ,2012-04-04

[5]

一种纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杨彬 ;

雷乐成 ;

李浩 .

中国专利 :CN105755448A ,2016-07-13

[6]

一种纳米金刚石薄膜的制备方法 [P].

钟建华 ;

张文英 .

中国专利 :CN102251231A ,2011-11-23

[7]

柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法与应用 [P].

史新伟 ;

姚宁 ;

李杏瑞 ;

张兵临 ;

程春晓 ;

柴士磊 ;

周秋霞 ;

靳慧智 .

中国专利 :CN102634793A ,2012-08-15

[8]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[9]

纳米晶体金刚石薄膜、其制造方法及使用纳米晶体金刚石薄膜的装置 [P].

蒲生秀典 ;

安藤寿浩 .

中国专利 :CN1957116A ,2007-05-02

[10]

掺杂金刚石薄膜的制备装置 [P].

韩培刚 ;

陈启原 ;

何斌 ;

黄江涛 ;

林立宇 .

中国专利 :CN223607353U ,2025-11-28

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