一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510962446.7

申请日：

2015-12-21

公开(公告)号：

CN106338379A

公开(公告)日：

2017-01-18

发明(设计)人：

谢耀于杰王丽萍郭本银王辉周烽金春水

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

郝明琴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101703558664 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2015109624467 申请日:20151221
2019-02-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01M 11/02 申请公布日:20170118
2017-01-18	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法 [P].

闫观勇 ;

王向朝 ;

彭勃 ;

徐东波 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102200697A ,2011-09-28

[2]

物镜波像差检测系统 [P].

张运海 ;

薛晓君 ;

唐志豪 .

中国专利 :CN103293879A ,2013-09-11

[3]

微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法 [P].

谢耀 ;

周烽 ;

王丽萍 ;

王辉 ;

郭本银 ;

张文龙 ;

金春水 .

中国专利 :CN105589305A ,2016-05-18

[4]

投影物镜波像差检测装置及检测方法 [P].

唐锋 ;

彭常哲 ;

王向朝 ;

卢云君 ;

李鹏 .

中国专利 :CN110441992A ,2019-11-12

[5]

一种投影物镜波像差检测装置及方法 [P].

刘志祥 ;

刘学峰 ;

吕保斌 ;

陈红丽 ;

甘大春 ;

何毅 .

中国专利 :CN102681365B ,2012-09-19

[6]

一种波像差检测系统及测量方法 [P].

孙慧慧 .

中国专利 :CN109855842A ,2019-06-07

[7]

一种高精度系统波像差检测方法 [P].

向阳 ;

于长淞 .

中国专利 :CN102368139B ,2012-03-07

[8]

测量波像差的系统 [P].

赵卫 ;

张周锋 ;

谢永军 ;

康福增 .

中国专利 :CN103308283A ,2013-09-18

[9]

测量波像差的系统 [P].

赵卫 ;

张周锋 ;

谢永军 ;

康福增 .

中国专利 :CN203365912U ,2013-12-25

[10]

投影物镜波像差在线检测装置和检测方法 [P].

吴飞斌 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

李杰 ;

李永 .

中国专利 :CN104166316B ,2014-11-26

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