离子束的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811083155.0

申请日：

2018-09-17

公开(公告)号：

CN109192645B

公开(公告)日：

2019-01-11

发明(设计)人：

汪红红洪纪伦吴宗祐林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01J37244 H01J3715

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20180917
2021-03-02	授权	授权
2019-01-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于确定离子束轮廓的方法和系统 [P].

迈克尔·葛雷夫 ;

约翰·叶 ;

波·凡德尔贝格 ;

迈克尔·克里斯托弗罗 ;

黄永章 .

中国专利 :CN101675494B ,2010-03-17

[2]

控制离子束的装置 [P].

肯尼士·H·波什 ;

克里斯多夫·坎贝尔 ;

法兰克·辛克莱 ;

罗伯特·C·林德柏格 ;

约瑟·C·欧尔森 .

中国专利 :CN105793954A ,2016-07-20

[3]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

[4]

在宽离子束电流操作范围中控制离子束 [P].

常胜武 ;

克里斯汀·拉恩斯 ;

威廉·里维特 ;

丹尼尔·布洛斯南 .

中国专利 :CN108140527A ,2018-06-08

[5]

离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法 [P].

肯尼士·H·波什 ;

克里斯多夫·坎贝尔 ;

法兰克·辛克莱 ;

罗伯特·C·林德柏格 ;

约瑟·C·欧尔森 .

中国专利 :CN105765692B ,2016-07-13

[6]

离子束处理设备、系统及产生离子束的方法 [P].

科斯特尔·拜洛 ;

爱普·纳文·汤玛斯 ;

泰勒·洛克威尔 ;

法兰克·辛克莱 ;

克里斯多夫·坎贝尔 .

美国专利 :CN114080658B ,2025-01-14

[7]

离子束调整 [P].

常胜武 ;

约瑟·C·欧尔森 ;

法兰克·辛克莱 ;

马太·P·麦卡伦 .

中国专利 :CN103119688B ,2013-05-22

[8]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

[9]

离子植入设备、控制离子束的方法及离子植入机 [P].

亚历山大·利坎斯奇 ;

法兰克·辛克莱 ;

常胜武 .

美国专利 :CN113169010B ,2024-06-07

[10]

为离子植入建立中电流带状离子束的方法及其离子束系统 [P].

罗伯特·凯姆 ;

查尔斯·M·弗里 ;

大卫·豪格伦德 ;

威廉·P·普拉托夫 ;

库罗什·萨阿达特曼德 .

中国专利 :CN104835709A ,2015-08-12

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