用于确定离子束轮廓的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880014181.6

申请日：

2008-04-03

公开(公告)号：

CN101675494B

公开(公告)日：

2010-03-17

发明(设计)人：

迈克尔·葛雷夫约翰·叶波·凡德尔贝格迈克尔·克里斯托弗罗黄永章

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101002878812 IPC(主分类):H01J 37/244 专利申请号:2008800141816 申请日:20080403
2012-02-01	授权	授权
2010-03-17	公开	公开

共 50 条

[1]

离子束的控制方法 [P].

汪红红 ;

洪纪伦 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN109192645B ,2019-01-11

[2]

离子注入系统、确定离子束的轮廓的方法和执行剂量控制的方法 [P].

佐藤秀 .

中国专利 :CN105723247B ,2016-06-29

[3]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

[4]

用于离子注入系统的离子束角度测量系统和方法 [P].

布赖恩·弗瑞尔 ;

亚历山大·普瑞尔 .

中国专利 :CN101361160A ,2009-02-04

[5]

测量二维离子束轮廓的装置及其方法 [P].

葛登·C·恩吉尔 ;

爱德华·D·梅克英特 ;

汤玛斯·A·夏德福 .

中国专利 :CN101167153A ,2008-04-23

[6]

用于离子束的静电透镜 [P].

R·拉斯梅尔 ;

V·班威尼斯特 .

中国专利 :CN101023506A ,2007-08-22

[7]

使用水蒸气中和离子束的系统和方法 [P].

V·M·本文尼斯特 ;

F·辛克莱尔 ;

陈炯 .

中国专利 :CN1117390C ,1999-03-24

[8]

离子束流测量装置及其方法 [P].

樊树宝 ;

张爱军 .

中国专利 :CN120085342A ,2025-06-03

[9]

控制离子束的装置 [P].

肯尼士·H·波什 ;

克里斯多夫·坎贝尔 ;

法兰克·辛克莱 ;

罗伯特·C·林德柏格 ;

约瑟·C·欧尔森 .

中国专利 :CN105793954A ,2016-07-20

[10]

在离子束引出后改善束流流强分布的系统和方法 [P].

陈炯 .

中国专利 :CN102024656A ,2011-04-20

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