使用水蒸气中和离子束的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98115954.0

申请日：

1998-07-10

公开(公告)号：

CN1117390C

公开(公告)日：

1999-03-24

发明(设计)人：

V·M·本文尼斯特 F·辛克莱尔陈炯

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L21425

IPC分类号：

H01J37317 C30B3122 H05H302

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

邹光新;张志醒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-08-06	授权	授权
2018-08-03	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/425 申请日:19980710 授权公告日:20030806
1999-03-24	公开	公开
2000-10-04	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-02-28	著录项目变更	著录项目变更变更事项:申请人变更前:易通公司变更后:艾克塞利斯技术公司变更事项:地址变更前:美国俄亥俄州变更后:美国马萨诸塞州

共 50 条

[1]

离子束中和方法及设备 [P].

J·陈 ;

V·M·奔维尼斯特 .

中国专利 :CN1132227C ,1998-04-15

[2]

离子束电子中和器 [P].

V·M·本维尼斯特 .

中国专利 :CN1125896A ,1996-07-03

[3]

水蒸气等离子焊炬以及使用水蒸气等离子焊炬的磨损检测和过程控制方法 [P].

沃尔特·米特休梅尔 ;

黑里贝特·潘泽 .

中国专利 :CN101516563B ,2009-08-26

[4]

基片水蒸气处理方法和基片水蒸气处理系统 [P].

若林孝德 ;

伊藤毅 ;

安友淳志 .

日本专利 :CN115889280B ,2025-01-03

[5]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

[6]

使用水蒸气产生脱水糖醇的方法 [P].

孙成烈 ;

洪锡俊 ;

宋寅浃 ;

任润宰 .

中国专利 :CN106478650B ,2017-03-08

[7]

水蒸气压缩设备及其控制方法和水蒸气循环系统 [P].

梁马腾 ;

任帅峰 ;

梁湖 ;

梁海英 .

中国专利 :CN115596687A ,2023-01-13

[8]

离子束传送的方法和装置 [P].

V·M·本维尼斯特 ;

陈炯 ;

T·N·霍斯基 ;

W·E·雷诺 .

中国专利 :CN1161563A ,1997-10-08

[9]

用于确定离子束轮廓的方法和系统 [P].

迈克尔·葛雷夫 ;

约翰·叶 ;

波·凡德尔贝格 ;

迈克尔·克里斯托弗罗 ;

黄永章 .

中国专利 :CN101675494B ,2010-03-17

[10]

吸附热泵用水蒸气吸附材料、其制造方法和使用该水蒸气吸附材料的吸附热泵 [P].

陈海军 ;

武胁隆彦 .

中国专利 :CN103889551A ,2014-06-25

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