一种往复式紫外曝光机

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920754820.8
申请日
2019-05-24
公开(公告)号
CN211826893U
公开(公告)日
2020-10-30
发明(设计)人
肖滨 张磊
申请人
申请人地址
621000 四川省绵阳市高新区菩提寺岷山机电工业园
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230
代理人
邓芸
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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