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传料纠偏装置及原子层沉积设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020682186.4
申请日：
2020-04-27
公开(公告)号：
CN212334143U
公开(公告)日：
2021-01-12
发明(设计)人：
李哲峰
乌磊
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513
IPC主分类号：
B65H23032
IPC分类号：
B65H2002
C23C16455
代理机构：
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人：
陈文斌
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-12 | 授权 | 授权 |