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一种半导体芯片研磨用清洁装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120249672.1
申请日：
2021-01-28
公开(公告)号：
CN214683077U
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
刁垒超
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷183号沙湖科技园2栋四层D06
IPC主分类号：
B08B104
IPC分类号：
B08B100
B08B504
B08B1300
代理机构：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345
代理人：
王利斌
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 授权 | 授权 |