低内应力的铜电镀方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210461899.8
申请日
2012-09-10
公开(公告)号
CN102995075A
公开(公告)日
2013-03-27
发明(设计)人
G·R·奥拉德伊斯 G·哈姆 N·卡拉亚
申请人
申请人地址
美国马萨诸塞州
IPC主分类号
C25D338
IPC分类号
C25D2112
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
江磊
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
电镀内应力测量程序和电镀内应力测量系统 [P]. 
山本渡 .
中国专利 :CN1676677A ,2005-10-05
[2]
酸性铜电镀浴以及用于电镀低内应力和优良延展性的铜沉积物的方法 [P]. 
L·魏 ;
R·阿兹布鲁克 ;
B·利布 ;
Y-H·高 ;
M·列斐伏尔 ;
R·A·科罗纳 .
中国专利 :CN106086954A ,2016-11-09
[3]
酸性铜电镀浴以及用于电镀低内应力和优良延展性的铜沉积物的方法 [P]. 
L·魏 ;
Y·H·高 ;
R·阿兹布鲁克 ;
R·科罗纳 ;
M·列斐伏尔 .
中国专利 :CN106521571A ,2017-03-22
[4]
低内应力轮胎 [P]. 
张明 .
中国专利 :CN102582366A ,2012-07-18
[5]
低内应力的胶铁 [P]. 
曾忠国 .
中国专利 :CN207926671U ,2018-09-28
[6]
在薄膜衬底上电镀低内应力铜沉积物以抑制翘曲的方法 [P]. 
Y·H·高 ;
L·魏 ;
L·戈麦斯 ;
M·列斐伏尔 .
中国专利 :CN106757192A ,2017-05-31
[7]
消除银包铜粉内应力的装置 [P]. 
朱纹哲 ;
陈国军 ;
王玮 ;
刘杰 ;
汪海军 ;
杨博 ;
董伟 ;
赵东明 ;
李孟蕾 ;
陈雄飞 .
中国专利 :CN119525489A ,2025-02-28
[8]
低内应力的胶铁及其制造方法 [P]. 
曾忠国 .
中国专利 :CN106979504A ,2017-07-25
[9]
内应力消除装置及内应力消除系统 [P]. 
边疆 .
中国专利 :CN207193344U ,2018-04-06
[10]
一种低内应力电镀组合物及其制备方法 [P]. 
张钊 ;
潘勇军 ;
黄岐善 .
中国专利 :CN111154219B ,2020-05-15