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晶圆夹具以及晶圆转移机械臂

被引：0
申请号：
CN202122263442.3
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN216288367U
公开(公告)日：
2022-04-12
发明(设计)人：
吴功 倪萌 国建花
申请人：
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
王瑞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-12 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具 [P]. 
吴功 ;
倪萌 .
中国专利 :CN113725145B ,2025-05-16
[2]
晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具 [P]. 
吴功 ;
倪萌 .
中国专利 :CN113725145A ,2021-11-30
[3]
晶圆水平承托装置以及晶圆转移机械臂 [P]. 
吴功 ;
国建花 ;
倪萌 .
中国专利 :CN216288368U ,2022-04-12
[4]
晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
国建花 .
中国专利 :CN113745140B ,2025-04-18
[5]
晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
国建花 .
中国专利 :CN113745140A ,2021-12-03
[6]
晶圆机械臂及晶圆处理设备 [P]. 
何正鸿 ;
陶毅 ;
田旭 ;
陈泽 .
中国专利 :CN223167459U ,2025-07-29
[7]
一种晶圆清洗转移机械臂 [P]. 
王宜 ;
王瑜 ;
王嘉玮 .
中国专利 :CN222755468U ,2025-04-15
[8]
晶圆寻边机械臂 [P]. 
俞铭熙 ;
王兆丰 ;
王世宽 .
中国专利 :CN222135017U ,2024-12-10
[9]
机械臂（晶圆清洗） [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN309474348S ,2025-09-02
[10]
机械臂(晶圆搬运) [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN309450090S ,2025-08-19
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