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晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111090818.3
申请日：
2021-09-17
公开(公告)号：
CN113725145B
公开(公告)日：
2025-05-16
发明(设计)人：
吴功 倪萌
申请人：
上海大族富创得科技股份有限公司
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
王瑞
法律状态：
授权
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-16 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具 [P]. 
吴功 ;
倪萌 .
中国专利 :CN113725145A ,2021-11-30
[2]
晶圆夹具以及晶圆转移机械臂 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
国建花 .
中国专利 :CN216288367U ,2022-04-12
[3]
晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
国建花 .
中国专利 :CN113745140B ,2025-04-18
[4]
晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法 [P]. 
吴功 ;
倪萌 ;
国建花 .
中国专利 :CN113745140A ,2021-12-03
[5]
晶圆水平承托装置以及晶圆转移机械臂 [P]. 
吴功 ;
国建花 ;
倪萌 .
中国专利 :CN216288368U ,2022-04-12
[6]
一种晶圆清洗转移机械臂 [P]. 
王宜 ;
王瑜 ;
王嘉玮 .
中国专利 :CN222755468U ,2025-04-15
[7]
晶圆夹持装置及晶圆转移系统 [P]. 
吴涛 ;
孙增强 .
中国专利 :CN114188268A ,2022-03-15
[8]
晶圆夹持装置及晶圆转移系统 [P]. 
吴涛 ;
孙增强 .
中国专利 :CN114188268B ,2024-12-10
[9]
晶圆转移装置 [P]. 
王振荣 ;
黄春杰 ;
黄利松 .
中国专利 :CN106783710A ,2017-05-31
[10]
晶圆转移装置 [P]. 
王振荣 ;
黄春杰 ;
黄利松 .
中国专利 :CN106783710B ,2024-01-12
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