晶圆夹持装置及晶圆转移系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111477595.6

申请日：

2021-12-06

公开(公告)号：

CN114188268B

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

吴涛孙增强

申请人：

北京七星华创集成电路装备有限公司

申请人地址：

101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹持装置及晶圆转移系统 [P].

吴涛 ;

孙增强 .

中国专利 :CN114188268A ,2022-03-15

[2]

晶圆转移装置及晶圆转移系统 [P].

郭旭续 ;

宿非凡 ;

邓辉 ;

严凯 ;

张海斌 ;

秦文斌 ;

宗华 ;

朱晓波 ;

彭承志 ;

潘建伟 .

中国专利 :CN119208238A ,2024-12-27

[3]

晶圆夹持装置和晶圆夹持方法 [P].

冯智颖 ;

何西登 ;

邓新平 ;

韩阳 .

中国专利 :CN119725209A ,2025-03-28

[4]

晶圆传输系统的夹持装置及晶圆传输系统 [P].

丁同周 ;

孙增强 ;

田永安 .

中国专利 :CN118213318A ,2024-06-18

[5]

晶圆夹持装置和晶圆后处理设备 [P].

王剑 .

中国专利 :CN113990798A ,2022-01-28

[6]

晶圆夹持装置和晶圆后处理设备 [P].

王剑 .

中国专利 :CN113990798B ,2025-01-07

[7]

晶圆夹持装置 [P].

肖宇 ;

易涛 ;

岳湘 .

中国专利 :CN213519916U ,2021-06-22

[8]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN102569154A ,2012-07-11

[9]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17

[10]

晶圆夹持装置 [P].

邓新平 ;

贾社娜 ;

张健 ;

季昆 .

中国专利 :CN120656987A ,2025-09-16

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