晶圆夹持装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110459560.X

申请日：

2011-12-31

公开(公告)号：

CN102569154A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

王振荣黄利松刘红兵

申请人：

申请人地址：

201616 上海市松江区文合路1268号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-13	授权	授权
2012-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101338132162 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:201110459560X 申请日:20111231
2012-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17

[2]

晶圆夹持装置和晶圆夹持方法 [P].

冯智颖 ;

何西登 ;

邓新平 ;

韩阳 .

中国专利 :CN119725209A ,2025-03-28

[3]

晶圆夹持装置 [P].

邓新平 ;

贾社娜 ;

张健 ;

季昆 .

中国专利 :CN120656987A ,2025-09-16

[4]

晶圆夹持装置 [P].

肖宇 ;

易涛 ;

岳湘 .

中国专利 :CN213519916U ,2021-06-22

[5]

晶圆夹持装置 [P].

吴均 ;

焦欣欣 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105529295A ,2016-04-27

[6]

晶圆夹持装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

魏兴亮 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223167472U ,2025-07-29

[7]

晶圆夹持装置 [P].

姬丹丹 .

中国专利 :CN111048466B ,2022-08-16

[8]

晶圆夹持装置 [P].

吴均 ;

程成 ;

焦欣欣 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN113130369A ,2021-07-16

[9]

晶圆夹持装置 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN106340486A ,2017-01-18

[10]

晶圆夹持装置 [P].

刘瑶 .

中国专利 :CN220914202U ,2024-05-07

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