晶圆夹持装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422379649.0

申请日：

2024-09-29

公开(公告)号：

CN223167472U

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

万先进韦俊丞尤国振朱松魏兴亮锁志勇边逸军

申请人：

武汉芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

430040 湖北省武汉市东西湖区东柏路888号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17

[2]

晶圆夹持装置 [P].

惠二援 ;

宋昌万 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

陈传磊 .

中国专利 :CN223333774U ,2025-09-12

[3]

晶圆夹持装置 [P].

吴良辉 .

中国专利 :CN201966196U ,2011-09-07

[4]

晶圆盒夹持装置 [P].

颜博 ;

朱旭刚 .

中国专利 :CN221041071U ,2024-05-28

[5]

晶圆夹持装置和晶圆夹持方法 [P].

冯智颖 ;

何西登 ;

邓新平 ;

韩阳 .

中国专利 :CN119725209A ,2025-03-28

[6]

晶圆夹持装置 [P].

邓新平 ;

贾社娜 ;

张健 ;

季昆 .

中国专利 :CN120656987A ,2025-09-16

[7]

晶圆夹持装置 [P].

肖宇 ;

易涛 ;

岳湘 .

中国专利 :CN213519916U ,2021-06-22

[8]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN102569154A ,2012-07-11

[9]

晶圆夹持装置 [P].

吴均 ;

焦欣欣 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105529295A ,2016-04-27

[10]

晶圆夹持装置 [P].

姬丹丹 .

中国专利 :CN111048466B ,2022-08-16

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