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晶圆盒夹持装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322735785.4
申请日：
2023-10-12
公开(公告)号：
CN221041071U
公开(公告)日：
2024-05-28
发明(设计)人：
颜博 朱旭刚
申请人：
苏州新尚思自动化设备有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道辽浜路255号第1幢
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人：
方中
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-28 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆盒全自动夹持装置 [P]. 
高翔鹰 ;
裴文龙 ;
陈晨 ;
张少阳 ;
谷晓东 .
中国专利 :CN212934570U ,2021-04-09
[2]
晶圆夹持装置 [P]. 
王振荣 ;
黄利松 ;
刘红兵 .
中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17
[3]
晶圆夹持装置 [P]. 
万先进 ;
韦俊丞 ;
尤国振 ;
朱松 ;
魏兴亮 ;
锁志勇 ;
边逸军 .
中国专利 :CN223167472U ,2025-07-29
[4]
晶圆夹持装置 [P]. 
惠二援 ;
宋昌万 ;
孔玉朋 ;
蒋君 ;
陈传磊 .
中国专利 :CN223333774U ,2025-09-12
[5]
晶圆夹持装置 [P]. 
吴良辉 .
中国专利 :CN201966196U ,2011-09-07
[6]
晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机 [P]. 
李广义 .
中国专利 :CN111244022B ,2020-06-05
[7]
晶圆夹持装置和晶圆夹持方法 [P]. 
冯智颖 ;
何西登 ;
邓新平 ;
韩阳 .
中国专利 :CN119725209A ,2025-03-28
[8]
晶圆夹持装置 [P]. 
邓新平 ;
贾社娜 ;
张健 ;
季昆 .
中国专利 :CN120656987A ,2025-09-16
[9]
晶圆夹持装置 [P]. 
肖宇 ;
易涛 ;
岳湘 .
中国专利 :CN213519916U ,2021-06-22
[10]
晶圆夹持装置 [P]. 
王振荣 ;
黄利松 ;
刘红兵 .
中国专利 :CN102569154A ,2012-07-11
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