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晶圆盒全自动夹持装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021685055.8
申请日：
2020-08-13
公开(公告)号：
CN212934570U
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
高翔鹰
裴文龙
陈晨
张少阳
谷晓东
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297
代理人：
陆明耀
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-09 | 授权 | 授权 |