位移测量装置和位移测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610035807.8

申请日：

2016-01-19

公开(公告)号：

CN105806201A

公开(公告)日：

2016-07-27

发明(设计)人：

安达聪徳洋平长谷川年洋

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G01B702

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/02 申请日:20160119
2016-07-27	公开	公开
2019-07-26	授权	授权

共 50 条

[1]

位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法 [P].

曾有军 ;

杨峰 ;

聂义 ;

安文慧 .

中国专利 :CN119197278A ,2024-12-27

[2]

位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[3]

位移测量装置和位移测量方法 [P].

梅辉 ;

曾有军 ;

安德里亚斯·沃斯 ;

阿明·迈森伯格 .

中国专利 :CN115711570B ,2025-08-08

[4]

位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083A ,2025-03-14

[5]

位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083B ,2025-04-04

[6]

位移测量方法以及位移测量装置 [P].

松井优贵 ;

菅孝博 ;

泷政宏章 .

中国专利 :CN104797904B ,2015-07-22

[7]

位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[8]

位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法 [P].

汪晓兵 ;

周松萍 ;

周沙 ;

刘伟 .

中国专利 :CN105547123A ,2016-05-04

[9]

位移测量装置、位移测量方法及光刻设备 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN111457843B ,2020-07-28

[10]

位移测量探头、测量装置及位移测量方法 [P].

王三宏 ;

金少峰 ;

杨灏 .

中国专利 :CN115096194A ,2022-09-23

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