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位移测量装置及位移测量方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202510167011.7
申请日
:
2025-02-14
公开(公告)号
:
CN119618083B
公开(公告)日
:
2025-04-04
发明(设计)人
:
马海祥
李小龙
冯甫
袁小聪
申请人
:
之江实验室
申请人地址
:
311121 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室
IPC主分类号
:
G01B11/02
IPC分类号
:
G01S17/08
代理机构
:
北京博思佳知识产权代理有限公司 11415
代理人
:
王厚莉
法律状态
:
公开
国省代码
:
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-03-14
公开
公开
2025-04-01
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20250214
2025-04-04
授权
授权
共 50 条
[1]
位移测量装置及位移测量方法
[P].
马海祥
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0
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机构:
之江实验室
之江实验室
马海祥
;
李小龙
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机构:
之江实验室
之江实验室
李小龙
;
冯甫
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机构:
之江实验室
之江实验室
冯甫
;
论文数:
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机构:
袁小聪
.
中国专利
:CN119618083A
,2025-03-14
[2]
位移测量装置、测量系统及位移测量方法
[P].
近藤智则
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近藤智则
;
铃木祐太
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铃木祐太
;
的场贤一
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的场贤一
;
金谷义宏
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金谷义宏
.
中国专利
:CN109557545A
,2019-04-02
[3]
位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法
[P].
曾有军
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
曾有军
;
杨峰
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
杨峰
;
聂义
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
聂义
;
安文慧
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
安文慧
.
中国专利
:CN119197278A
,2024-12-27
[4]
位移测量方法和位移测量装置
[P].
小山胜弘
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小山胜弘
;
池田正人
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池田正人
.
中国专利
:CN102834690A
,2012-12-19
[5]
位移测量装置和位移测量方法
[P].
安达聪
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安达聪
;
徳洋平
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徳洋平
;
长谷川年洋
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长谷川年洋
.
中国专利
:CN105806201A
,2016-07-27
[6]
位移测量装置和位移测量方法
[P].
梅辉
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
梅辉
;
曾有军
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
曾有军
;
安德里亚斯·沃斯
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机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
安德里亚斯·沃斯
;
阿明·迈森伯格
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0
机构:
精量电子(深圳)有限公司
精量电子(深圳)有限公司
阿明·迈森伯格
.
中国专利
:CN115711570B
,2025-08-08
[7]
位移测量方法以及位移测量装置
[P].
松井优贵
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松井优贵
;
菅孝博
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菅孝博
;
泷政宏章
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0
泷政宏章
.
中国专利
:CN104797904B
,2015-07-22
[8]
位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法
[P].
汪晓兵
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汪晓兵
;
周松萍
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周松萍
;
周沙
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周沙
;
刘伟
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刘伟
.
中国专利
:CN105547123A
,2016-05-04
[9]
位移测量装置、位移测量方法及光刻设备
[P].
吴萍
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吴萍
.
中国专利
:CN111457843B
,2020-07-28
[10]
位移测量探头、测量装置及位移测量方法
[P].
王三宏
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王三宏
;
金少峰
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金少峰
;
杨灏
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杨灏
.
中国专利
:CN115096194A
,2022-09-23
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