基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721737016.6

申请日：

2017-12-13

公开(公告)号：

CN207763824U

公开(公告)日：

2018-08-24

发明(设计)人：

李钦明余永杨家岳丁洪利张未卿杨学明

申请人：

申请人地址：

116023 辽宁省大连市中山路457号

IPC主分类号：

G01J142

IPC分类号：

G01J1100

代理机构：

沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001

代理人：

张晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-24	授权	授权
2022-12-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01J 1/42 申请日:20171213 授权公告日:20180824 终止日期:20211213

共 50 条

[1]

基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置 [P].

李钦明 ;

余永 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN109916508A ,2019-06-21

[2]

基于离子成像的真空紫外光横向分布在线测量装置及方法 [P].

李钦明 ;

余永 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN109916507A ,2019-06-21

[3]

基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置 [P].

余永 ;

李钦明 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN207763825U ,2018-08-24

[4]

基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置 [P].

余永 ;

李钦明 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN109916509A ,2019-06-21

[5]

基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置 [P].

余永 ;

李钦明 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN109916509B ,2024-10-22

[6]

基于飞行时间谱真空紫外光横向分布在线测量装置及方法 [P].

余永 ;

李钦明 ;

杨家岳 ;

丁洪利 ;

张未卿 ;

杨学明 .

中国专利 :CN109916510A ,2019-06-21

[7]

真空紫外光偏振元件、真空紫外光偏振装置、真空紫外光偏振方法及取向方法 [P].

那胁洋平 ;

鹤冈和之 .

中国专利 :CN112189157B ,2021-01-05

[8]

一种基于紫外光的光学测量装置 [P].

黄立新 ;

李浦林 ;

叶俊鳞 ;

曾天航 ;

叶军 .

中国专利 :CN223091494U ,2025-07-11

[9]

一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置 [P].

王锋 ;

邹凯 ;

陈天江 ;

周彦卿 ;

卢飞 ;

雒仲祥 ;

马立斌 ;

余鸿铭 ;

张永红 .

中国专利 :CN206563649U ,2017-10-17

[10]

真空紫外光管照明装置 [P].

孙广尉 ;

孙红胜 ;

王加朋 ;

任小婉 ;

吴柯萱 ;

李世伟 ;

杜继东 .

中国专利 :CN106641813B ,2017-05-10

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