碳化硅晶圆片抛光用抛光粉及其制备方法、抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911356679.7

申请日：

2019-12-25

公开(公告)号：

CN111073520B

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

刘冉朱堂龙陈红飞王宇湖

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区嵩山路488号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人：

范晴;顾天乐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-03	授权	授权
2020-04-28	公开	公开
2021-12-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20211202 变更事项:专利权人变更前权利人:苏州纳迪微电子有限公司变更后权利人:苏州柔陶新材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:215000 江苏省苏州市高新区嵩山路488号变更后权利人:215000 江苏省苏州市相城区阳澄湖镇凤阳路432号8号楼东侧一、二层
2020-05-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20191225

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法 [P].

颜杰钦 ;

郭东勇 ;

李泽辉 .

中国专利 :CN120888243A ,2025-11-04

[2]

一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法与抛光方法 [P].

王丹 ;

高文琳 ;

刘福超 .

中国专利 :CN118085731B ,2024-07-19

[3]

一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法与抛光方法 [P].

王丹 ;

高文琳 ;

刘福超 .

中国专利 :CN118085731A ,2024-05-28

[4]

蓝宝石抛光用硅铝复合抛光粉及其制备方法、抛光液 [P].

刘冉 ;

朱堂龙 ;

陈红飞 ;

王宇湖 .

中国专利 :CN111004582A ,2020-04-14

[5]

一种用于碳化硅晶圆抛光的高速率抛光液及其制备方法 [P].

陈杏辉 ;

杨红星 ;

萧桐 .

中国专利 :CN120248773A ,2025-07-04

[6]

悬浮抛光液及其制备方法和碳化硅的抛光方法 [P].

袁黎光 ;

王凯丽 ;

陈壮鑫 .

中国专利 :CN118271973A ,2024-07-02

[7]

悬浮抛光液及其制备方法和碳化硅的抛光方法 [P].

袁黎光 ;

王凯丽 ;

陈壮鑫 .

中国专利 :CN118271973B ,2024-08-20

[8]

一种碳化硅晶圆抛光液及其制备方法 [P].

何波 ;

杨阳 ;

凌观爽 .

中国专利 :CN120399578A ,2025-08-01

[9]

一种碳化硅晶圆抛光液 [P].

梁振 .

中国专利 :CN116656243B ,2024-03-29

[10]

一种碳化硅晶圆抛光用的球形纳米氧化铝抛光液 [P].

彭付贵 ;

谢喜明 ;

刘韦 ;

伍雅峰 .

中国专利 :CN119410272A ,2025-02-11

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