一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911184118.3

申请日：

2019-11-27

公开(公告)号：

CN110850687A

公开(公告)日：

2020-02-28

发明(设计)人：

肖燕青袁征陈海巍刘世林曾振军徐彦文

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211

代理人：

彭素琴

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-28	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:申请人变更前:江苏影速光电技术有限公司变更后:江苏影速集成电路装备股份有限公司变更事项:地址变更前:221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路变更后:221000 江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
2020-02-28	公开	公开
2020-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191127
2021-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

激光直写曝光系统 [P].

陈铁玉 ;

王章 ;

欧志朋 .

中国专利 :CN118567197A ,2024-08-30

[2]

一种激光直写垂直双面曝光系统 [P].

赵华 ;

张伟 ;

陈旻峰 .

中国专利 :CN105068387A ,2015-11-18

[3]

一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统 [P].

李振杰 ;

陈海巍 ;

吴长江 .

中国专利 :CN119717413B ,2025-09-30

[4]

一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统 [P].

李振杰 ;

陈海巍 ;

吴长江 .

中国专利 :CN119717413A ,2025-03-28

[5]

一种曝光方法及曝光系统 [P].

于亮 ;

徐兵 ;

陈文枢 ;

陈烈 .

中国专利 :CN113359399B ,2021-09-07

[6]

曝光系统、曝光系统的控制装置以及曝光系统的控制方法 [P].

大畑公孝 ;

木村忠信 ;

大河原直人 .

中国专利 :CN103999192A ,2014-08-20

[7]

一种用于激光直写曝光机的曝光平台 [P].

王历先 .

中国专利 :CN211669496U ,2020-10-13

[8]

一种曝光控制方法及曝光系统 [P].

姚宇 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119292001A ,2025-01-10

[9]

曝光系统的控制方法和曝光系统 [P].

卞洪飞 ;

董帅 ;

高利军 .

中国专利 :CN112596346B ,2021-04-02

[10]

DMD投影光路激光直写倾斜双面曝光系统 [P].

王翰文 ;

赵华 ;

张伟 ;

徐巍 ;

马汝治 .

中国专利 :CN205539927U ,2016-08-31

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