用于晶圆搬运的自动倒片机

被引：0

申请号：

CN202221389376.2

申请日：

2022-06-06

公开(公告)号：

CN217387098U

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

陈铁龙程龙祥张振林智颖欧赵旺

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞路66号A-4厂房一层

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312

代理人：

陶韬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆自动倒片机 [P].

王军才 .

中国专利 :CN223378142U ,2025-09-23

[2]

晶圆倒片机 [P].

王帅 ;

张豹 .

中国专利 :CN305479547S ,2019-12-06

[3]

晶圆自动搬运机 [P].

王琪 ;

赵洪建 ;

郑旭海 .

中国专利 :CN114334761A ,2022-04-12

[4]

多尺寸晶圆倒片机 [P].

徐卫星 ;

马凯疆 .

中国专利 :CN117894739A ,2024-04-16

[5]

晶圆自动搬运装置 [P].

王琪 ;

赵洪建 ;

郑旭海 .

中国专利 :CN216648252U ,2022-05-31

[6]

晶圆倒片装置 [P].

姚世杰 ;

蒋同洋 .

中国专利 :CN218385157U ,2023-01-24

[7]

一种晶圆倒片机 [P].

张刊 .

中国专利 :CN120854352A ,2025-10-28

[8]

用于晶圆搬运的圆锅固定装置 [P].

王琪 ;

赵洪建 ;

郑旭海 .

中国专利 :CN216597527U ,2022-05-24

[9]

晶圆倒片机（2LP） [P].

卢伟 ;

王彭 .

中国专利 :CN307257102S ,2022-04-12

[10]

晶圆搬运机 [P].

梁猛 ;

林海涛 ;

赵凯 ;

卢升 ;

时威 .

中国专利 :CN217375054U ,2022-09-06

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