一种等离子体内电子温度测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510126389.5

申请日：

2005-12-08

公开(公告)号：

CN1851420B

公开(公告)日：

2006-10-25

发明(设计)人：

陈卓

申请人：

申请人地址：

100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

G01J546

IPC分类号：

G01J500 H01L213065

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

蔡世英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-12-08	授权	授权
2006-10-25	公开	公开
2018-08-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01J 5/46 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

一种等离子气体的温度测量装置 [P].

韩道满 ;

刘永新 ;

高飞 ;

刘子耕 ;

荆振国 ;

王友年 .

中国专利 :CN110440951B ,2019-11-12

[2]

耦合窗的温度测量装置、等离子体设备及温度测量方法 [P].

武小娟 .

中国专利 :CN102313599B ,2012-01-11

[3]

一种基于表面等离子体共振的温度测量装置 [P].

韩博 ;

王同宾 ;

孙金晨 .

中国专利 :CN208672180U ,2019-03-29

[4]

一种基于表面等离子体共振的温度测量装置及方法 [P].

韩博 ;

王同宾 ;

孙金晨 .

中国专利 :CN109029778A ,2018-12-18

[5]

非接触式等离子体温度和电子密度测量装置 [P].

李燕 ;

张琳 ;

朱顺官 ;

薛锐 ;

王俊德 .

中国专利 :CN201096521Y ,2008-08-06

[6]

等离子体参数测量装置 [P].

宋钟民 ;

尹镛 ;

张城豪 ;

崔然晳 .

韩国专利 :CN120709130A ,2025-09-26

[7]

等离子体测量装置和等离子体测量设备 [P].

肖珂 ;

郑志远 ;

高禄 ;

张思齐 ;

梁田 ;

汤伟冲 .

中国专利 :CN206609893U ,2017-11-03

[8]

高温、高压及等离子体环境下离子推力器的温度测量装置 [P].

孙明明 ;

张天平 ;

龙建飞 ;

吴先明 ;

陈娟娟 .

中国专利 :CN105092065A ,2015-11-25

[9]

等离子体测量装置 [P].

邓星亮 ;

张书锋 ;

武宇婧 ;

贾军伟 ;

柴昊 ;

郎昊 .

中国专利 :CN114245555B ,2025-03-07

[10]

等离子体测量装置 [P].

邓星亮 ;

张书锋 ;

武宇婧 ;

贾军伟 ;

柴昊 ;

郎昊 .

中国专利 :CN114245555A ,2022-03-25

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